证券之星音问，凭证企查查数据知道中微公司（688012）新得回一项发明专利授权，专利名为“半导体零部件、等离子体反馈安设和涂层酿成纪律”通用版，专利肯求号为CN202010777043.6，授权日为2024年6月7日。

专利撮要：本发明波及半导体加工时刻限制，具体公开了一种半导体零部件，包括半导体零部件骨子，其内招引有冷却通说念，而况冷却通说念的内侧壁具有抗腐蚀涂层。本发明提供的半导体零部件中的冷却管说念内侧壁名义具有抗腐蚀涂层，这种涂层防止冷却液和冷却管说念，从而幸免冷却管说念被冷却液中的稠浊物腐蚀，而况采用的高分子涂层具有名义能低和兼具疏水疏油性的优点，粗略裁汰冷却剂高速流动时与铝合金冷却管说念搏斗界面的产生静电的风险，从而幸免了电化学腐蚀。还提供了等离子体反馈安设，安设中的半导体零部件中的冷却管说念具有抗腐蚀涂层，粗略防护冷却液管说念被冷却液腐蚀。临了提供了抗腐蚀涂层的酿成纪律，该纪律工艺简单，易于握行，资本低。

本年以来中微公司新得回专利授权72个，较旧年同时加多了5.88%。蚁合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面干预了8.17亿元通用版，同比增34.91%。

数据起原：企查查

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半导体中微公司冷却液零部件涂层发布于：上海市